氮化铝外延片

我司可提供基于蓝宝石衬底的高效率、低成本氮化铝外延片（AlN Template）。使用此产品作为衬底，可生长出台阶状的AlN薄膜，可实现深紫外LED高效率化和低成本化。与其它同等质量的AlN单晶衬底相比，本公司产品的成本可低至1/10。

标准片	规格值
衬底尺寸	50.8mm±0.25mm（2inch）
衬底材料 / 成膜材料	蓝宝石（单面研磨）/ 氮化铝
衬底厚度 / 成膜厚度	430μm±50μm / 350nm±20nm
晶向 / 偏角	C面(0001) / 0.2°±0.1°
导电性	绝缘
晶体质量	XRD FWHM of (0002) < 30 arcsec XRD FWHM of (10-12) < 200 arcsec
表面粗糙度	AFM Rms < 1.0nm （1μm×1μm）