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铝酸美钪衬底

铝酸美钪衬底

我司拥有铝酸镁钪（ScMgAlO4）晶体生长技术和全球独有的晶体加工技术。
我司可根据客户需求，生产提供铝酸镁钪衬底，该衬底可用于生长氮化镓衬底。

 
我司拥有铝酸镁钪（ScMgAlO4）晶体生长技术和全球独有的晶体加工技术。可根据客户需求，生产提供铝酸镁钪衬底，该衬底可用于生长氮化镓衬底。
 
2英寸 铝酸镁钪（ScMgAlO4）
规格 数值 公差 单位
晶向角度 C向 ±0.1°  
直径 50.810*10.5mm ±0.10 mm
厚度 350 ±25 um
边缘免检区域 距外径0.5mm    
定位边 A轴(11-20)
 		  
定位边长度 16.0 ±1.0 mm
表面粗糙度 <0.3   nm
背面粗糙度 200 ±50  
TTV <10 <10 um
BOW <10 <10 um
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