检测服务

我司可对外提供以下检测服务:

检测项目	检验能力	应用领域
扫描电子显微镜（SEM）	放大倍数：最大5万倍产品尺寸：6寸及以下尺寸	半导体芯片/金属/非金属材料样品等观察
阴极荧光光谱（CL）	产品尺寸：6寸及以下尺寸	SiC/GaN/GaAs等晶体位错密度检测
X射线衍射（XRD）	产品尺寸：6寸及以下尺寸	SiC/GaN/GaAs等外延、晶体缺陷检测
霍尔测试（Hall）	电阻率：10-6~107Ωcm 载流子浓度：5X10-12~5X1022cm³ 迁移率：1~107cm²/(VS) 霍尔系数：10-3~109cm³/C	半导体材料/阻抗材料等电阻率、迁移率、掺杂浓度、背景浓度等检测
非接触式电阻率测试	产品尺寸：8寸以下尺寸电阻（Rs)： 0.1~10Ω/sq, 10~1000Ω/sq	半导体材料/阻抗材料等电阻率、方块电阻等检测(非破坏性）